[发明专利]一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器在审
| 申请号： | 202111268160.0 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN114006599A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 于海洋;张智欣;孙伟彬;闫鑫;陈长娥;倪烨;陈晓阳 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 翟磊 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：依次层叠设置的第二电极层、压电层、第一电极层和衬底；
所述衬底上布设多个散热盲孔，每个散热盲孔内填充有导热散热材料，并在每个散热盲孔内的导热散热材料的上方填充高阻材料，形成全反射结构，其中，所有散热盲孔的开口方向与所述第一电极层垂直，或者，所有散热盲孔的开口方向与所述第一电极层平行；
所述第一电极层覆设所述全反射结构上。
2.根据权利要求1所述一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述衬底的材质为Si、SiC或蓝宝石。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述导热散热材料包括石墨、石墨烯、氧化石墨、铜、金、银、铝、金刚石和高导热硅中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述高阻材料包括二氧化硅和高阻硅中的至少一种。
5.根据权利要求4所述的一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，散热盲孔的横截面为圆形、矩形或多边形。
6.一种薄膜体声波滤波器，其特征在于，包括权利要求1至5任一项所述的一种薄膜体声波谐振器。
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