[发明专利]一种长波长VCSEL的结构及其制备方法有效
| 申请号： | 202111248342.1 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN114006264B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 唐先胜;韩丽丽;王兆伟;宫卫华;王纪强;刘统玉 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院激光研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/343;H01S5/024 |
| 代理公司： | 济南龙瑞知识产权代理有限公司 37272 | 代理人： | 张俊涛 |
| 地址： | 272000 山东省济宁市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及VCSEL制备技术领域，特别涉及一种长波长VCSEL的结构及其制备方法，VCSEL的热沉的底部贴合有第一接触金属，第一接触金属的底部贴合有底DBR，底DBR的底部贴合有第一ITO，第一ITO的底部贴合有介质钝化层，介质钝化层的底部贴合有N/P型层，N/P型层的底部贴合有有源区，有源区的底部贴合有P/N型层，P/N型层的底部贴合有第二ITO，第二ITO底部贴合顶DBR，顶DBR的底部贴合有第二接触金属。本发明解决了目前工艺复杂，制备困难的问题，适用于大功率的VCSEL器件的制备，长波长VCSEL的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 vcsel 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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