[发明专利]测试晶圆的探针卡在审
| 申请号： | 202111242497.4 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN114487516A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 赵浚秀 | 申请（专利权）人： | 普罗-2000有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于测试晶圆的探针卡。所述探针卡包括基板和块，所述块包括绝缘部和设置在所述绝缘部上的导电部。其中所述绝缘部包括通孔和与待测物体接触的探针。所述导电部包括电连接至所述基板的触点以及穿过所述通孔并将触点电连接至探针的导电图案。多个这样的探针之间的间距小于多个这样的触点之间的间距。所述块包括多个单位块。所述多个单位块每个包括所述绝缘部和所述导电部，并且所述单位块的绝缘部的至少部分布置为彼此间隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
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