[发明专利]一种双环耦合结构的生化传感器在审
申请号: | 202111242472.4 | 申请日: | 2021-10-25 |
公开(公告)号: | CN113933244A | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 庄须叶;张洛璇;李平华;张佳宁;刘靖豪 | 申请(专利权)人: | 山东理工大学 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/41 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 255086 山东省淄*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公布了一种双环耦合结构的生化传感器,涉及光生化传感领域,包括2段波导、1个环形谐振腔和1个椭圆形谐振腔;波导与谐振腔均为以硅为基底,二氧化硅包裹氮化硅结构。该结构中由于波导与环形谐振腔的耦合以及环形谐振腔和椭圆形谐振腔的耦合,使得由波导输入的光波经由环形谐振腔被限制在椭圆形谐振腔内,增强了光与物质之间的相互作用,同时由两段波导代替一段波导,波导与环形谐振腔耦合效率提高,另外将椭圆形谐振腔内部区域用于检测外界溶液浓度变化,减小波导以及环形谐振腔由于溶液浓度变化导致出射波导光波变化,增加线性测量范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 耦合 结构 生化 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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