[发明专利]一种铜靶材的清洗方法在审
| 申请号： | 202111239148.7 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113976529A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;车雨晗;慕二龙 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/12;C23G1/24;C23G5/032 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铜靶材的清洗方法，将待清洗的铜靶材依次进行除油、除锈、醇洗以及干燥，得到洁净的铜靶材；本发明所述铜靶材的清洗方法增加了除锈这一步骤，从而达到更好的清洗效果，增加铜靶材的表面洁净度，延缓铜靶材的氧化；同时，除锈液对车削过程中嵌入螺纹内的微小铜屑具有微蚀作用，可以避免在后续溅射镀膜的使用过程中产生Particle现象；且操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜靶材 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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