[发明专利]稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202111234757.3 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN114032517A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 王志强;马建保;林燕明;曾墩风;陶成;毕荣锋 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市中国（安徽）自*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法，属于ITO靶材领域，通过粉末真空上料‑粉末粗磨‑‑粉末精磨‑粉末纳米级砂磨‑浆料配胶‑喷雾造粒‑混合过筛制得ITO靶材的粉末，再进行干压、冷等静压成型‑素坯进行车削加工‑烧结‑机加工‑绑定检测，通过添加稀土氧化物粉体，解决了高铟锡比ITO靶材致密度不高、容易开裂的问题，提高了薄膜的载流子迁移率，可以更好地应用于太阳能电池行业。 | ||
| 搜索关键词： | 稀土 离子 掺杂 ito 制备 方法 | ||
【主权项】：
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