[发明专利]一种硫系玻璃微透镜阵列的制备方法有效

专利信息
申请号: 202111213890.0 申请日: 2021-10-19
公开(公告)号: CN114012272B 公开(公告)日: 2023-09-05
发明(设计)人: 张培晴;葛恺鑫;周伟杰;李娆;林常规;戴世勋;张巍;宋宝安 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: B23K26/362 分类号: B23K26/362;B23K26/064;B23K26/0622;G02B3/00;C03C15/00
代理公司: 宁波奥圣专利代理有限公司 33226 代理人: 谢潇
地址: 315211 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种硫系玻璃微透镜阵列的制备方法,搭建由飞秒激光加工装置、观察装置和计算机组成的激光直写系统,利用丙胺溶液对半成品进行化学腐蚀,并通过热回流处理对硫系玻璃微透镜阵列的表面进行平滑处理以提高硫系玻璃微透镜阵列的光学质量,通过退火处理以提升硫系玻璃微透镜阵列的物理性能,本发明制备方法的重复性好,制备的硫系玻璃微透镜阵列的表面光滑度好、均匀度高,可实现大范围的不同几何形状、尺寸、焦距和填充效率的硫系玻璃微透镜阵列的高效制备,制备的微透镜阵列的直径从微米到毫米可调,厚度在数百纳米到数十微米可调,且微透镜阵列之间的间距和微透镜的填充效率可以灵活调整。
搜索关键词: 一种 玻璃 透镜 阵列 制备 方法
【主权项】:
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