[发明专利]一种外延反应器托盘基座转速检测装置及外延反应器在审
| 申请号： | 202111207799.8 | 申请日： | 2021-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN113945728A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 唐卓睿;张国旗;樊嘉杰 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01P3/68 | 分类号： | G01P3/68;C30B25/12;C30B25/16 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵旭 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种外延反应器托盘基座转速检测装置及外延反应器，属于半导体领域，外延反应器包括反应腔，反应腔内设置有用于承托衬底的托盘基座，反应腔具有流经托盘基座的气流通道以及分别位于气流通道两端的进气端口和出气端口，装置包括设于托盘基座上且随托盘基座的旋转而圆周运动的定位器、位于进气端口与出气端口的信号发射器和信号接收器以及与信号接收器通信连接的计速器，信号发射器用于发射被定位器周期性阻挡的激光信号，信号接收器用于接收激光信号，计速器用于根据激光信号被阻挡的频率计算获取托盘基座的角速度信息。本发明能够在不破坏保温层及石墨层结构的情况下完成托盘基座的测速，具有测量精度高、反应灵敏、结构简单的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 反应器 托盘 基座 转速 检测 装置 | ||
【主权项】：
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