[发明专利]分步式晶圆定位及托起装置有效
| 申请号： | 202111207081.9 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN114454093B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 许剑锋;郑正鼎;张建国;于世超;侍大为 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23Q3/00 | 分类号： | B23Q3/00;B24B41/06;B24B47/00 |
| 代理公司： | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 田沛沛 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种分步式晶圆定位及托起装置，包括均布在底板上的驱动装置、托起装置和定位装置，驱动装置包括步进电机和拉板，定位装置包括定位指安装架和浮动定位指，拉板一端连接步进电机，另一端连接浮动定位指，同时拉板浮动连接托起装置，步进电机正向运动，带动浮动定位指沿晶圆径向向内运动，实现晶圆定心，步进电机持续正向运动，拉板带动托起装置向心运动，托起装置收紧后对晶圆进行托举。本发明采用三台步进电机同时对呈120度设置的定位和托举装置操作，可以保证高同步性和定位准确性。放置晶圆时，浮动定位指首先接触放置平台，大大减小了晶圆自由落体的行程，减小了放置偏差，同时也减缓了接触的冲击力，防止晶圆损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 分步 式晶圆 定位 托起 装置 | ||
【主权项】：
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