[发明专利]WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置有效
| 申请号： | 202111194457.7 | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN113884023B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王波;廖秋岩;李铎;丁飞;薛家岱;乔政;吴言功;杨彦佶;陈勇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02;G01B9/02055 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 郭莹莹 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。该检测装置用于保证大批量镜片内壁的检测精度，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高检测效率。所述主动吊装装置通过支架支撑，用于吊起镜筒，所述测量装置用于测量镜筒的圆度误差和轮廓误差，测量装置安装在高精度气浮主轴上，由高精度气浮主轴带动其旋转测量，所述高精度气浮主轴安装在XY平移台上，所述XY平移台安装在支架上。本发明针对现有的通用测量仪器无法对WolterI型X射线聚焦镜内壁的面形精度进行直接检测，可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量，保证了检测过程中镜片的低变形、高精度，提高了检测效率，达到了降本增效的效果。 | ||
| 搜索关键词： | wolteri 射线 聚焦 内壁 高精度 检测 装置 | ||
【主权项】：
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