[发明专利]WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置

权利要求书

1.一种WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：包括支架(1)、测量装置(3)、高精度气浮主轴(4)、XY平移台(5)及主动吊装装置(6)；所述主动吊装装置(6)通过支架(1)支撑，用于吊起镜筒(2)，所述测量装置(3)用于测量镜筒(2)的圆度误差和轮廓误差，测量装置(3)安装在高精度气浮主轴(4)上，由高精度气浮主轴(4)带动其旋转测量，所述高精度气浮主轴(4)安装在XY平移台(5)上，所述XY平移台(5)安装在支架(1)上，

所述测量装置(3)包括圆度误差测量机构(31)、轮廓误差测量机构(32)、升降导轨(33)及精密调平调心工作台(34)；所述圆度误差测量机构(31)和轮廓误差测量机构(32)均设置在镜筒(2)内，且均安装在升降导轨(33)的滑块上，所述升降导轨(33)安装在精密调平调心工作台(34)上，所述精密调平调心工作台(34)安装在高精度气浮主轴(4)上，

所述圆度误差测量机构(31)包括球形反射镜(311)及激光自准直仪(312)；所述球形反射镜(311)安装在升降导轨(33)的滑块上，为使球形反射镜(311)位于垂直Z轴的回转中心，在滑块上开设安装球形反射镜(311)的竖向通槽，所述激光自准直仪(312)的光束从下方入射到球形反射镜(311)上，然后反射的光线回到激光自准直仪(312)。

2.根据权利要求1所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：所述轮廓误差测量机构(32)包括长距离干涉测头(321)、平面反射镜(322)、聚焦型短距离干涉测头(323)及X位移台(324)；所述长距离干涉测头(321)设置在垂直Z轴的回转中心附近，并安装在升降导轨(33)的滑块上，长距离干涉测头(321)发出的光束对准平面反射镜(322)用于测量两者之间的距离，所述平面反射镜(322)上安装聚焦型短距离干涉测头(323)用于测量与镜筒(2)表面的距离；平面反射镜(322)通过X位移台(324)控制其径向位置。

3.根据权利要求2所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：所述聚焦型短距离干涉测头(323)倾斜安装在平面反射镜(322)上，且倾斜的角度α的范围是：0.4-5°。

4.根据权利要求2所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：所述X位移台(324)采用双段位移模式，由两个压电平移台叠加构成。

5.根据权利要求1所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：所述主动吊装装置(6)包括吊装盘(61)、多根吊绳(63)及多个吊装机构(62)，所述吊装盘(61)水平安装在支架(1)上端，所述多个吊装机构(62)环形均布安装在吊装盘(61)上表面上，且每个吊装机构(62)内端均伸出吊装盘(61)外，通过吊绳(63)拉动镜筒(2)。

6.根据权利要求5所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：每个所述吊装机构(62)均包括丝杠驱动机构(621)、力传感器(624)、杠杆(625)、配重块(626)及音圈电机(627)；所述丝杠驱动机构(621)的滑块内端增设刀口支撑部(623)，所述杠杆(625)的杆身由刀口支撑部(623)支撑，杠杆(625)内端安装有力传感器(624)，外端与音圈电机(627)相连，所述音圈电机(627)安装在丝杠驱动机构(621)的滑块上，所述吊绳(63)上端与力传感器(624)连接，吊绳(63)上的力直接通过力传感器(624)测量，杠杆(625)的外端还配有配重块(626)。

7.根据权利要求1所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：所述支架(1)包括花岗岩台面(11)及多根高精度花岗岩立柱(12)；所述花岗岩台面(11)上下两端面的边缘竖直均布安装有多根高精度花岗岩立柱(12)，位于上方的高精度花岗岩立柱(12)上端和位于下方的高精度花岗岩立柱(12)下端均内置空气过滤器。

8.根据权利要求7所述的WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，其特征在于：所述花岗岩台面(11)、XY平移台(5)、高精度气浮主轴(4)和精密调平调心工作台(34)上均开设中心孔，中心孔的中心轴与垂直Z轴的回转中心重合，为激光自准直仪(312)的光束流出通道，所述激光自准直仪(312)安装在支架(1)下端。