[发明专利]一种氩气回收提纯装置及其提纯方法在审
| 申请号： | 202111192424.9 | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN113998678A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 王帅;张黎静;吴骏 | 申请（专利权）人： | 安徽华中半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 安徽申策知识产权代理事务所(普通合伙) 34178 | 代理人： | 许晓璐 |
| 地址： | 239500 安徽省滁州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及提纯装置技术领域，尤其涉及一种氩气回收提纯装置及其提纯方法。其技术方案为：包括设备主体，所述设备主体内设置有第一工作组和第二工作组，所述设备主体内固定连接有一对氩气分流管，且两个所述氩气分流管分别位于第一工作组、第二工作组的两端位置，单个所述氩气分流管均开设有一对通气口，两个所述通气口分别与第一工作组和第二工作组连通。本申请通过设置的第一工作组和第二工作组，可以通过第一工作组和第二工作组之间的切换实现不间断氩气回收提纯工作；本申请中第一工作组和第二工作组能实现智能自动切换，微氧分析仪不仅能检测提纯后的氩气提纯程度，且能根据纯度情况判断当前工作组的工作情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 提纯 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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