[发明专利]一种光伏增效微结构紫外激光加工装置及方法有效
| 申请号： | 202111190725.8 | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN114012268B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 孙爱西;鄂世举;张昱;王成武;蔡建程;寇建龙;楼刚;郑佳佳 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;B23K26/082;B23K26/08;B23K26/06;B23K26/70;C03C15/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 沈阳互晟专利代理事务所(普通合伙) 21267 | 代理人： | 李奕潼 |
| 地址： | 321000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光伏增效微结构紫外激光加工装置及方法，所述装置包括有工件，工件设置在工作箱内底部，所述工作箱下方通过螺纹连接安装有Y直线运动模块，所述Y直线运动模块安装在平台框架上；所述平台框架横梁上安装有X直线运动模块，所述X直线运动模块上安装有Z直线运动模块；Z直线运动模块上通过铝制连接件安装有激光器，所述平台框架的一侧通过耐酸碱水管连接有耐酸碱水箱，所述耐酸碱水管上从靠近工作箱一侧依次设置有压力表、耐酸碱水泵和过滤器；本发明的优点是采用微结构加工的一次成形方法，在激光纳秒级脉冲内，溶液层下紫外激光通过光化学刻蚀去除玻璃材料、形成表面微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增效 微结构 紫外 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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