[发明专利]一种光伏增效微结构紫外激光加工装置及方法

权利要求书

1.一种光伏增效微结构紫外激光加工装置，包括平台框架和工件，其特征在于：

所述工件(1)设置在工作箱(4)内底部，并通过夹具(2)安装固定，所述工作箱(4)下方通过螺纹连接安装有Y直线运动模块(3)，所述Y直线运动模块(3)安装在平台框架上；

所述平台框架上方设置有平台框架横梁，所述平台框架横梁上安装有X直线运动模块(6)，所述X直线运动模块(6)上安装有Z直线运动模块(10)；

所述Z直线运动模块(10)上通过铝制连接件安装有激光器(9)，所述激光器(9)的出光口前端设置有激光扫描振镜(8)，所述激光扫描振镜(8)下方设置有聚焦镜(7)；

所述平台框架的一侧通过耐酸碱水管(14)连接有耐酸碱水箱(15)；

所述耐酸碱水管(14)一端与工作箱(4)相连，另一端与耐酸碱水箱(15)相连；

所述耐酸碱水管(14)上从靠近工作箱(4)一侧依次设置有压力表(11)、耐酸碱水泵(12)和过滤器(13)；

所述工作箱(4)内设置有缓流碱性溶液(5)；

所述缓流碱性溶液(5)成分为氢氧化钠，溶液温度为70℃～90℃，缓流碱性溶液(5)质量浓度为3g/L～7g/L；

所述缓流碱性溶液(5)高出工件表面1～3mm。

2.一种光伏增效微结构紫外激光加工方法，用于如权利要求1所述的光伏增效微结构紫外激光加工装置，其特征在于：

包括如下步骤：

S1：将工件安装在工作箱内；

S2：打开耐酸碱水泵，并调节其流量，使工作箱中的碱性溶液层高出工件表面1～3mm，在压力表中观察碱性溶液流量的压力信息；

S3：调整Z直线运动模块，将激光聚焦的平面调到工件表面上；

S4：在计算机上设置激光出光参数，加工速度，同时设置X直线运动模块和Y直线运动模块的运动轨迹路线；

S5：开始加工，激光出光加工工件表面微结构；

S6：加工完成，取下工件擦拭工件并烘干。