[发明专利]一种全可重构硅基法诺谐振器芯片有效
| 申请号： | 202111188378.5 | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN113991275B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 张伟锋;王彬;周朗;郑爽;刘泉华;曾涛;龙腾 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学;北京理工大学重庆创新中心 |
| 主分类号： | H01P7/06 | 分类号： | H01P7/06;G02B6/34 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 刘西云 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种全可重构硅基法诺谐振器芯片，既能够通过热光效应对微盘谐振腔和MZI分别调节，从而改变法诺共振谱线的消光比、斜率、谐振波长、法诺参数，还可以同时调谐MZI与微盘谐振腔的谐振模式，能够在调节谐振波长时保持法诺谐振谱线形状不变，达到对谱线形状的精细调控，增加器件的可调谐性与灵活性，实现全可重构法诺谐振器；因此，该芯片能应用于诸如传感、光开关、光调制器等各类场景，应用场景广阔；同时，与基于微环耦合结构的法诺谐振器相比，该芯片用微盘代替微环，能够以更小尺寸实现更高品质因数，并且降低芯片所需功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全可重构硅基法诺 谐振器 芯片 | ||
【主权项】：
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