[发明专利]一种可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法在审
| 申请号： | 202111177314.5 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113969392A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;李忠昌;王振玉;张栋;周定伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/58 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调控的Ti‑Al‑C系MAX相涂层的制备方法，包括：以Ti‑Al复合靶作为溅射靶，以碳氢气体作为反应气源，所述的碳氢气体的流量为5‑12sccm，采用直流磁控溅射，对清洁后的基体表面溅射得到Ti‑Al‑C涂层，将所述的Ti‑Al‑C涂层加热到600‑700℃，保温60‑180min得到Ti‑Al‑C系MAX相涂层。该方法能够简单、高效的调控不同的Ti‑Al‑C系MAX相，同时能够降低热处理温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调控 ti al max 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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