[发明专利]一种可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法在审
| 申请号： | 202111177314.5 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113969392A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;李忠昌;王振玉;张栋;周定伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/58 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 调控 ti al max 涂层 制备 方法 | ||
1.一种可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，包括：
以Ti-Al复合靶作为溅射靶，以碳氢气体作为反应气源，所述的碳氢气体的流量为5-12sccm，对清洁后的基体表面进行直流磁控溅射得到Ti-Al-C涂层，将所述的Ti-Al-C涂层加热到600-700℃，保温60-180min得到Ti-Al-C系MAX相涂层。
2.根据权利要求1所述的可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，所述的碳氢气体的流量为5-8sccm，得到Ti-Al-C系MAX相为211相。
3.根据权利要求1所述的可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，所述的碳氢气体的流量为9-12sccm，得到Ti-Al-C系MAX相为312相。
4.根据权利要求1-3任一项所述的可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，所述碳氢气体为乙炔或甲烷。
5.根据权利要求1所述的可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，所述的直流磁控溅射的参数为：溅射靶功率为1500-2500W，基体负偏压为0-100V，腔体气压为0.6-1.2Pa，沉积时间为60-180min，真空度低于1-3×10-5Pa。
6.根据权利要求1所述的可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，所述的Ti-Al复合靶的Ti-Al元素比为2:1.2～1.5。
7.根据权利要求1所述的可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，对所述的基体表面进行清洁，包括：
对基体表面用400#～2000#的SiC砂纸打磨，然后抛光预处理后在丙酮中超声清洗10-15min。
8.根据权利要求1所述的可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，所述的基体为不锈钢或钛基合金。
9.根据权利要求7所述的可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，对所述的基体表面进行清洁后，进行等离子体辉光刻蚀处理，所述的等离子体辉光刻蚀处理的参数为：等离子流量为30-35sccm，离子源电压为1000～1200V，基体施加负偏压150-250V，刻蚀时间为20-40min。
10.根据权利要求9所述的可调控的Ti-Al-C系MAX相涂层的制备方法，其特征在于，在所述的对基体进行等离子体辉光刻蚀处理之后，在所述的基体表面溅射一层过渡层，所述的过渡层为TiAl间化合物。
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