[发明专利]一种钛银共掺杂CoSb3在审

专利信息
申请号: 202111175217.2 申请日: 2021-10-09
公开(公告)号: CN113903852A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 郑壮豪;钟一鸣;范平;梁广兴;陈跃星 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: H01L35/18 分类号: H01L35/18;H01L35/34;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/35
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 刘芙蓉
地址: 518060 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种钛银共掺杂CoSb3热电薄膜及其制备方法,所述钛银共掺杂CoSb3热电薄膜包括CoSb3薄膜,以及均匀分散于所述CoSb3薄膜上的Ti和Ag。本发明提供的钛银共掺杂CoSb3热电薄膜通过在CoSb3薄膜中掺杂银和钛组分,使得其热电性能得到大幅度提升,并且通过对掺杂银和钛的组分的调控,可以实现对于最终薄膜的性能的调控,本发明的钛银共掺杂CoSb3热电薄膜薄膜质量高,重复性好,可大面积生产。
搜索关键词: 一种 钛银共 掺杂 cosb base sub
【主权项】:
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