[发明专利]一种晶圆喷雾式清洗洁净装置有效
| 申请号： | 202111169870.8 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN113600545B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 华斌;李文轩 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B11/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市浩东律师事务所 11499 | 代理人： | 孙莉 |
| 地址： | 215316 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆喷雾式清洗洁净装置，包括机体，放置于台面上，所述机体的顶部贯穿安装有进液斗，所述顶板的底部固定有顶杆；密封门，设置于机体的后侧，所述机体的侧壁上固定有加热器；还包括：导盘，贯穿套设于进液斗的底部，所述导盘内开设有导液槽，所述导液槽的顶部固定有封盘，所述导盘的顶部固定有定位环；第一电机，固定于导盘底部中心处，所述第一电机的输出端连接有螺杆；齿盘，套设于调节盘上，所述调节盘的外侧固定有限位块，所述齿盘的顶部预留有安装槽；第二电机，嵌入式安装于机体底部边缘处的内部。该晶圆喷雾式清洗洁净装置，对晶圆进行批量均匀清洗，同时可以避免清洗液出现分层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷雾 清洗 洁净 装置 | ||
【主权项】：
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