[发明专利]一种光学膜厚监控系统在审
| 申请号： | 202111167839.0 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN113739711A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 徐波;薛聪颖;李卫涛;张新银;展大伟;杨得成;龙汝磊;汪洋 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学膜厚监控系统，所述监控光路的光源发射端和/或光接收端具有角度调整机构，所述角度调整机构使所述光源发射端的光发射角度和/或所述光接收端的光接收角度可调且构成位置对应匹配。本发明的优点是：1）可显著改善光路的透过干涉问题，提高成膜直接检测的检测精度；2）适应性强，监控精度高，可适用于多种类型的镀膜伞架和多种面形的镀膜产品；3）可实现镀膜产品膜厚均匀性的检测，并可根据检测结果对成膜工艺进行相应调整，进而可提高镀膜产品的质量；4）结构简单合理，使用方便，可根据监测对象及监测位置对监控光路进行快速且高精度地进行调整；5）自动化程度高，便于自动化控制的实施，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 监控 系统 | ||
【主权项】：
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