[发明专利]一种光学膜厚监控系统

权利要求书

1.一种光学膜厚监控系统，包括光源发射端和光接收端，所述光源发射端和光接收端之间形成监控光路，其特征在于：所述监控光路的光源发射端和/或光接收端具有角度调整机构，所述角度调整机构使所述光源发射端的光发射角度和/或所述光接收端的光接收角度可调且构成位置对应匹配。

2.根据权利要求1所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述角度调整机构分别具有角度仪和角度调试台，所述角度调试台用于所述光发射角度和/或所述光接收角度的角度调整，所述角度仪用于标定角度值。

3.根据权利要求2所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述角度调整机构安装在位置调试台上，所述位置调试台用于调整所述角度调整机构的位置，进而调整监控光路检测工件的位置。

4.根据权利要求3所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述角度调试台安装在所述角度仪上，所述角度调试台的底面与所述角度仪的顶面为相适配的弧面，且两者之间构成滑动配合。

5.根据权利要求1所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述光发射角度和/或所述光接收角度的角度调节范围小于90°。

6.根据权利要求5所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述光发射角度和/或所述光接收角度的角度调节范围为7°-14°。

7.根据权利要求1所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：该监控系统包括两路或两路以上的所述监控光路，各所述监控光路沿所述工件上的薄膜覆膜延伸方向间隔布置。

8.根据权利要求1所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述监控光路的光信号经光电转换处理后传输至锁相放大器，所述锁相放大器对所述光信号进行降噪并传输至数据处理器，所述数据处理器根据所述光信号监控所述工件在成膜过程中的透过率变化。