[发明专利]高钪含量铝钪合金靶材及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202111160175.5 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN113981386A 公开(公告)日: 2022-01-28
发明(设计)人: 王兴权;曹晓萌;丁照崇;李勇军;贾倩;李利利;何金江;张晓娜;杜文路;肖彤 申请(专利权)人: 有研亿金新材料有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C22C1/04;C22C21/00
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 陈波
地址: 102200*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提出一种高钪含量铝钪合金靶材的制造方法,通过采用Sc粉与第二相化合物Al3Sc粉进行配料混合,Sc的熔点(1541℃)Al3Sc的熔点(1320℃)均较高,能够提高粉末烧结温度至1000‑1300℃,提高了AlSc靶材的致密度;并且由于直接加入了第二相化合物Al3Sc粉,能够使得第二相更加均匀弥散的分布。
搜索关键词: 含量 合金 及其 制造 方法
【主权项】:
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