[发明专利]高钪含量铝钪合金靶材及其制造方法在审
申请号: | 202111160175.5 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN113981386A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 王兴权;曹晓萌;丁照崇;李勇军;贾倩;李利利;何金江;张晓娜;杜文路;肖彤 | 申请(专利权)人: | 有研亿金新材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22C1/04;C22C21/00 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 陈波 |
地址: | 102200*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明提出一种高钪含量铝钪合金靶材的制造方法,通过采用Sc粉与第二相化合物Al |
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搜索关键词: | 含量 合金 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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