[发明专利]激光剥离设备控制方法和装置有效
| 申请号: | 202111155485.8 | 申请日: | 2021-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN113921744B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
| 发明(设计)人: | 冯鸣鸣 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号: | H10K71/00 | 分类号: | H10K71/00;H01L21/67;B23K26/36;B23K26/70 |
| 代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 马云超 |
| 地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本申请涉及一种激光剥离设备控制方法和装置。所述方法包括:控制激光剥离设备对输出的激光脉冲进行多个阶段的升频,将所述激光脉冲的频率升至对产品进行激光剥离的目标频率;其中,所述激光脉冲在同一个阶段的频率恒定,所述激光脉冲在不同阶段的频率随时间的增长而升高;若第一产品未到达所述激光剥离设备,则控制所述激光剥离设备交替处于开启状态和关闭状态,以间断性输出所述激光脉冲。采用本方法能够提高激光剥离设备的稼动率、降低产品的生产成本。 | ||
| 搜索关键词: | 激光 剥离 设备 控制 方法 装置 | ||
【主权项】:
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