[发明专利]用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法在审
| 申请号： | 202111150239.3 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN114040526A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 徐宏林;吴杰;黄永杰 | 申请（专利权）人： | 上海宏端精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/22 | 分类号： | H05B3/22;H05B3/06;H05B3/04;B21D22/04;C23C4/08;C23C4/131;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海得民颂知识产权代理有限公司 31379 | 代理人： | 陈开山 |
| 地址： | 201608 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及加热器领域，公开了一种用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法。本发明的用于CVD镀膜的板状加热器，包括：底板、加热丝和固定法兰，底板为铝材质的矩形板，设有通孔和安装凹槽，固定法兰设置在底板的底面上，位于通孔处，加热丝盘嵌入在底板的安装凹槽内，加热丝的端部穿设在通孔和固定法兰上，底板的顶面设有喷铝层，喷铝层用于覆盖加热丝。本发明的用于CVD镀膜的板状加热器，加热丝设置在底板的安装凹槽内，通过喷铝层覆盖，使用时加热丝不与工艺气体接触，不会被反应、腐蚀；加热丝通过喷铝层覆盖，加热器的厚度减薄至20mm左右，使加热器的厚度大大减小，降低了材料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 cvd 镀膜 加热器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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