[发明专利]用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法

说明书

本发明涉及加热器领域，公开了一种用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法。本发明的用于CVD镀膜的板状加热器，包括：底板、加热丝和固定法兰，底板为铝材质的矩形板，设有通孔和安装凹槽，固定法兰设置在底板的底面上，位于通孔处，加热丝盘嵌入在底板的安装凹槽内，加热丝的端部穿设在通孔和固定法兰上，底板的顶面设有喷铝层，喷铝层用于覆盖加热丝。本发明的用于CVD镀膜的板状加热器，加热丝设置在底板的安装凹槽内，通过喷铝层覆盖，使用时加热丝不与工艺气体接触，不会被反应、腐蚀；加热丝通过喷铝层覆盖，加热器的厚度减薄至20mm左右，使加热器的厚度大大减小，降低了材料成本。

技术领域

本发明实施例涉及加热器领域，具体涉及一种用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法。

背景技术

化学气相沉积，简称CVD(Chemical vapor deposition)，是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质，在中温或高温条件下，在衬底表面上进行化学反应以生成薄膜的方法，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

化学气相沉积(CVD)装置的反应器，通过电加热器加热。加热器的加热丝为不锈钢丝，为了防止工艺气体与不锈钢中的镍反应，需将加热丝密封在铝板中。

但现有技术中的用于CVD镀膜的加热器，加热丝布设在两块铝板之间，两块铝板之间通过焊接密封，使得加热器的厚度和重量增加，增加了材料成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法，以解决上述背景技术中的问题。

本发明实施例提供一种用于CVD镀膜的板状加热器，包括：底板、加热丝和固定法兰；

所述底板为铝材质的矩形板，所述底板设有通孔，所述底板的顶面设有安装凹槽；

所述固定法兰设置在所述底板的底面上，位于所述通孔处；

所述加热丝盘绕在所述底板上，嵌入在所述安装凹槽内，且所述加热丝的端部穿设在所述通孔和所述固定法兰上，用于与外部电源电性连接；

所述底板的顶面设有喷铝层，所述喷铝层用于覆盖所述加热丝。

基于上述方案可知，本发明的用于CVD镀膜的板状加热器，通过设置底板、加热丝和固定法兰，底板为铝材质的矩形板，底板的顶面设有安装凹槽，固定法兰设置在底板的底面上，加热丝嵌入在底板的安装凹槽内，加热丝的端部穿设在固定法兰上，底板的顶面设有喷铝层，加热丝被包裹在喷铝层内。本发明的用于CVD镀膜的板状加热器，加热丝设置在底板的安装凹槽内，通过喷铝层覆盖，使用时加热丝不与工艺气体接触，不会被反应、腐蚀；加热丝通过喷铝层覆盖，加热器的厚度减薄至20mm左右，使加热器的厚度大大减小，降低了材料成本。

在一种可行的方案中，所述喷铝层通过铝熔射的方法形成。

在一种可行的方案中，所述安装凹槽的深度大于所述加热丝的直径，使所述加热丝隐藏于所述安装凹槽内。

在一种可行的方案中，所述底板在所述安装凹槽的两侧设有凸出铆块，所述凸出铆块用于固定所述加热丝。

在一种可行的方案中，相邻的两个所述凸出铆块之间的距离为30mm。

在一种可行的方案中，所述加热丝包括：第一加热丝、第二加热丝和第三加热丝；

所述第一加热丝和所述第三加热丝分别设置在所述底板的中部和外侧，所述第二加热丝位于所述第一加热丝和第三加热丝之间，所述第一加热丝、所述第二加热丝和所述第三加热丝的密集度依次增大。

在一种可行的方案中，还包括：多个固定柱；

所述底板设有多个安装孔；