[发明专利]利用多点自动对焦将光学组件部分的光轴对准为垂直于工件表面的系统和方法在审
| 申请号： | 202111140698.3 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN114326140A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | C.E.埃特曼 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种计量系统，包括光学组件部分；调整机构，其被配置为改变光学组件部分和工件表面之间的距离和角度取向；和处理器，其配置为控制调整机构移动光学组件部分，以将工件表面定位在焦点Z自动对焦范围内；捕获工件表面的图像堆叠，其中图像堆叠的每个图像对应于不同的自动对焦高度；确定工件表面的至少三个位置的自动对焦高度；基于自动对焦高度控制调整机构以使光学组件部分相对于工件表面旋转，使光学组件部分的光轴与工件表面的表面法线名义上对齐，并调整光学组件部分与工件表面之间的距离；并在工件表面上执行限定的操作。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 多点 自动 对焦 光学 组件 部分 光轴 对准 垂直 工件 表面 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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