[发明专利]散斑测量装置及测量分析方法有效
| 申请号： | 202111136209.7 | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN113933265B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 安其昌;刘欣悦;姜晰文;张景旭;李洪文;王建立;陈涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种散斑测量装置及测量分析方法，散斑测量装置包括：出射校正模块、散斑测量模块，光源发出的光束进入空间光调制器进行调制后，入射至第一平面反射镜，经反射后入射至待测物，经待测物反射后入射至第一光阑，光束穿过第一光阑后入射至第一透镜，经第一透镜入射至第二光阑，光束穿过第二光阑后入射至五棱镜扫描单元，经五棱镜扫描单元出射的光束入射至光电探测器，在光电探测器上形成散斑信号；数据处理模块接收光电探测器形成的散斑信号进行分析。本发明所提供的散斑测量装置及测量分析方法能够实现实时测量待测物的散斑，并且能够准确计算散斑的对比度。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 分析 方法 | ||
【主权项】：
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