[发明专利]基于图像处理与机器学习的MOCVD腔内状态识别方法在审
| 申请号： | 202111133298.X | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN113792506A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 裴艳丽;何宜聪;王杰;罗铁成;李健;王钢 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G06F30/28 | 分类号： | G06F30/28;G06F30/27;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08;G06F113/08;G06F119/14 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 高冰 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于图像处理与机器学习的MOCVD腔内状态识别方法，该方法包括：基于计算流体力学软件构建MOCVD反应腔模型并生成训练流线图；对训练流线图进行图像处理并分类，得到流动状态分类结果；基于流动状态分类结果对BP神经网络进行训练，得到训练完成的BP神经网络；基于训练完成的BP神经网络计算临界稳定压强并绘制稳定性图谱。通过使用本发明，可方便工程人员快速查找对应工艺参数的气体流动状态，从而实现更高质量的半导体材料外延生长。本发明作为一种基于图像处理与机器学习的MOCVD腔内状态识别方法，可广泛应用于MOCVD状态识别领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 图像 处理 机器 学习 mocvd 状态 识别 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山大学，未经中山大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111133298.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种提高网约车运力下单效率的派单方法
- 下一篇：话费充值方法及装置
- 彩色图像和单色图像的图像处理
- 图像编码/图像解码方法以及图像编码/图像解码装置
- 图像处理装置、图像形成装置、图像读取装置、图像处理方法
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序以及图像解码程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序、以及图像解码程序
- 图像形成设备、图像形成系统和图像形成方法
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序
