[发明专利]基于四层膜结构的AT石英晶体谐振器、振荡器及设计方法有效
申请号: | 202111121851.8 | 申请日: | 2021-09-24 |
公开(公告)号: | CN113824424B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 安田克史;黄章伦 | 申请(专利权)人: | 杭州鸿星电子有限公司 |
主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19;H03H9/13;G06F30/36 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 郑元昊 |
地址: | 310000 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于四层膜结构的AT石英晶体谐振器、振荡器及设计方法;属于元器件技术领域;其技术要点在于:AT石英晶体谐振包括:石英晶片和第一激励电极、第二激励电极;第一激励电极、第二激励电极分别设置在石英晶体的两侧;第一激励电极、第二激励电极均采用四层膜结构,且按照距离石英晶体由近及远的顺序,依次包括:第一膨胀抑制材层,第二高热膨张系数材层,第三膨胀抑制材层,第四高热膨张系数材层。采用本申请的基于四层膜结构的AT石英晶体谐振器、振荡器及设计方法,能够有效的满足通信用高性能石英晶体谐振器的技术需求。 | ||
搜索关键词: | 基于 膜结构 at 石英 晶体 谐振器 振荡器 设计 方法 | ||
【主权项】:
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