[发明专利]功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备在审
| 申请号： | 202111121238.6 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113903642A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 杨京;钟晨玉;尤艳艳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/248 | 分类号： | H01J37/248;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备，其包括：获取到达匹配器前端的预设输入功率值；根据到达匹配器前端的预设输入功率值和预先拟合出的函数关系查找与该预设输入功率值相对应的功率源的输出功率校准值；其中，函数关系为非线性函数，用于表示到达匹配器前端的输入功率与功率源的输出功率的对应关系；将功率源的输出功率调节至功率源的输出功率校准值，以使到达匹配器前端的实际输入功率值与前述预设输入功率值相对应。本发明提供的功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备，能够降低馈入至工艺腔室中的射频功率与射频源的实际输出功率之间的误差，从而能够提高工艺腔室中进行的工艺精度。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 输出功率 控制 方法 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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