[发明专利]一种测量薄膜厚度和折射率的方法在审
| 申请号： | 202111120067.5 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113834430A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 郭彤;袁琳;郭心远;孙长彬 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24;G01N21/41 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于光学精密测量领域，涉及一种测量薄膜厚度和折射率的方法，通过白光光谱相移测量，获得仅与薄膜自身相关的测量非线性相位，通过对薄膜进行垂直扫描，将所记录的白光光谱信号对波长积分，重建出白光垂直扫描数据，获得非线性拟合的约束条件，对根据反射系数的理论模型得到的理论非线性相位和测量非线性相位进行带有约束条件的非线性拟合，得到薄膜的厚度和折射率。本发明无需已知薄膜材料的色散模型、薄膜厚度和折射率的初值，可在同一系统中实现薄膜样品三维表面形貌的测量和薄膜厚度、折射率的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 薄膜 厚度 折射率 方法 | ||
【主权项】：
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