[发明专利]用于芯片的点测设备、点测系统及其点测方法在审
| 申请号： | 202111119713.6 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113866601A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 黄新青;幸刚;刘骏;蔡建镁;张嘉鸿;刘轩;谭艳娥 | 申请（专利权）人： | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 黄勇;任志龙 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市南山区桃源街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种用于芯片的点测设备、点测系统及其点测方法，包括机架，所述机架上设置有探针装置和设置于探针装置一侧的承载装置；所述机架上还设置有位于探针装置另一侧的视觉定位装置，所述视觉定位装置包括视觉件，所述承载装置相对于机架具有扫描位；所述承载装置位于扫描位时，所述视觉件能够获取承载装置上所有芯片的定位并输出定位图像；所述承载装置能够将多个芯片逐个移动至探针装置的检测端抵接。本申请具有提高点测设备在进行芯片验光时的工作效率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 芯片 设备 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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