[发明专利]基于虚拟干涉仪法的瑞奇-康芒检测方法及系统有效
| 申请号： | 202111118190.3 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113834443B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 胡摇;刘一鸣;郝群 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
公开了基于虚拟干涉仪法的瑞奇‑康芒检测方法及系统，能够方便快捷地实现高精度待测面形解算，降低了对测试场地面积的要求，有效抑制坐标转换法中的插值误差。方法包括：测量瑞奇‑康芒检测光路中的各项参数，在光学设计软件中构建虚拟干涉仪；对实际测量获取的平面镜引入的系统波像差进行Zernike拟合，获取系统波像差的各项Zernike系数；将系统波像差的各项Zernike系数作为系统的优化目标，将待测平面镜面形的Zernike系数作为优化变量，利用光学设计软件的优化功能进行优化，直至虚拟干涉仪获取的与实际测量获取的系统波像差一致；提取待测镜面的各项Zernike系数，生成含有调整离焦误差的待测面形S |
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| 搜索关键词： | 基于 虚拟 干涉仪 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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