[发明专利]基于虚拟干涉仪法的瑞奇-康芒检测方法及系统

权利要求书

1.基于虚拟干涉仪法的瑞奇-康芒检测方法，其特征在于：其包括以下步骤：

(1)测量瑞奇-康芒检测光路中的各项参数，包括：干涉仪焦点与被测镜中心之间的距离、待测镜的半径、反射球面镜的曲率半径与瑞奇角，根据上述参数，在光学设计软件中构建虚拟干涉仪；

(2)对实际测量获取的平面镜引入的系统波像差进行Zernike拟合，获取系统波像差的各项Zernike系数；

(3)在光学设计软件中，将系统波像差的各项Zernike系数作为系统的优化目标，将待测平面镜面形的Zernike系数作为优化变量，利用光学设计软件的优化功能进行优化，直至虚拟干涉仪获取的系统波像差与实际测量获取的系统波像差一致；

(4)提取待测镜面的各项Zernike系数，生成含有调整离焦误差的待测面形S₁(x,y)；将系统波像差中的离焦项Zernike系数作为优化目标，进行优化，z₁为优化结果，获取离焦量在优化过程中，引入的面形误差基底D₁(x,y)；

(5)得到待测面形S₀(x,y)为：

S₀(x,y)＝S₁(x,y)-z₁×D₁(x,y) (1)。

2.根据权利要求1所述的基于虚拟干涉仪法的瑞奇-康芒检测方法，其特征在于：所述步骤(2)中，获取两瑞奇角下系统波像差的各项Zernike系数，并消去平移与倾斜项。

3.根据权利要求2所述的基于虚拟干涉仪法的瑞奇-康芒检测方法，其特征在于：所述步骤(4)中，提取待测镜面的各项Zernike系数，生成含有调整离焦误差的待测面形S₁(x,y)、S₂(x,y)；将两角度系统波像差中的离焦项Zernike系数分别作为优化目标，进行优化，获取离焦量在优化过程中，引入的面形误差基底D₁(x,y)、D₂(x,y)

二者关系表示为：

S₁(x,y)＝S₀(x,y)+z₁×D₁(x,y) (2)

S₂(x,y)＝S₀(x,y)+z₂×D₂(x,y) (3)

其中，z₁、z₂为系数，D₁(x,y)、D₂(x,y)为离焦量在优化过程中在面形结果中引入的影响基底，S₀(x,y)为待测面真实面形。

4.根据权利要求3所述的基于虚拟干涉仪法的瑞奇-康芒检测方法，其特征在于：所述步骤(4)中，

将公式(2)、(3)相减得到：

ΔS＝S₁(x,y)-S₂(x,y)＝z₁D₁-z₂D₂＝zD (4)

其中，z与D为用来计算的向量。

5.根据权利要求4所述的基于虚拟干涉仪法的瑞奇-康芒检测方法，其特征在于：所述步骤(4)中，利用最小二乘拟合获取系数：z＝ΔS/D。