[发明专利]一种溅射靶材研磨装置及加工方法在审
| 申请号： | 202111116516.9 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113732835A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 周桂媚;刘佰玲;胡智向;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B24B5/04 | 分类号： | B24B5/04;B24B5/40;B24B5/50;B24B5/35;B24B41/06;B24B37/02;B24B37/27;B24B37/34;B24B1/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;黄诗彬 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材加工技术领域，公开了一种溅射靶材研磨装置及加工方法，所述溅射靶材研磨装置包括机架和研磨用砂轮，所述机架的一端可移动地设有尾顶，所述机架的另一端对应所述尾顶可转动地设有工作头，所述工作头上设有工装夹具，所述工装夹具内可拆卸地插接有靶材套筒，所述砂轮可移动地设置在所述工装夹具与所述尾顶之间。采用本发明溅射靶材研磨装置及加工方法，研磨靶材内径时在工装夹具上安装靶材套筒，然后将靶材坯料固定在靶材套筒内进行内表面的研磨，避免了其在研磨过程中的圆跳动，不仅方便对内表面进行研磨，而且研磨外表面时也不用多次研磨，从而提高了对长管形溅射靶材的研磨精度及研磨速率，提高了产品合格率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 研磨 装置 加工 方法 | ||
【主权项】：
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