[发明专利]叉指型体声波谐振器及滤波器在审
| 申请号： | 202111115882.2 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113810014A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 罗天成;蔡耀;周杰;孙成亮;孙博文 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种叉指型体声波谐振器及滤波器，涉及谐振器技术领域。该叉指型体声波谐振器包括衬底和位于衬底上的压电叠层，压电叠层包括位于衬底上的压电层以及位于压电层上的第一组叉指电极和第二组叉指电极，衬底靠近压电叠层的一侧设有空腔；其中，第一组叉指电极和第二组叉指电极均包括多个第一电极，且至少两个第一电极在压电层上的高度不同。该叉指型体声波谐振器能够通过设置多个不同高度的叉指阵列，实现多模态谐振器的各模态独立调谐。 | ||
| 搜索关键词： | 叉指型体 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
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