[发明专利]体声波谐振器封装结构有效
申请号: | 202111110245.6 | 申请日: | 2021-09-23 |
公开(公告)号: | CN113572449B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 深圳新声半导体有限公司 |
主分类号: | H03H9/10 | 分类号: | H03H9/10;H03H9/02 |
代理公司: | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人: | 陶俊洁 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙华区民*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及体声波谐振器技术领域,公开一种体声波谐振器封装结构,包括:谐振器盖体、体声波谐振结构、谐振器载体;谐振器盖体上设置有第一通孔、第二通孔,第一金属层、第二金属层,第一金属层位于第一通孔内的部分被限定成第一凹槽,第二金属层位于第二通孔内的部分被限定成第二凹槽;第一凹槽内填充有第一金属填充层,第二凹槽内填充有第二金属填充层;第一金属层穿过第一通孔连接体声波谐振结构;第二金属层穿过第二通孔连接体声波谐振结构;在第一金属填充层上设置有第一焊锡凸点;在第二金属填充层上设置有第二焊锡凸点。这样,由于整个通孔被金属填充层填满,使得通孔的导热能力更好,有利于提高体声波谐振器的工作功率。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 封装 结构 | ||
【主权项】:
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