[发明专利]一种光刻机电路板水冷屏蔽装置在审
| 申请号： | 202111108254.1 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113939171A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 吴剑威;刘海朝;赵鹏越;李昌其;韦威威;王继尧;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H05K9/00 | 分类号： | H05K9/00;H05K7/20;G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。本发明通过在盒体的两块水冷屏蔽板上各设置一个电路板，实现了两块电路板的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板的内部均设有冷却水路，既保证了每个电路板的冷却需要，又提高了冷却效率。且电路板设于金属水冷屏蔽板的内表面，可屏蔽电路板受到的电磁干扰信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机电 水冷 屏蔽 装置 | ||
【主权项】：
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