[发明专利]一种光刻机电路板水冷屏蔽装置

说明书

本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。本发明通过在盒体的两块水冷屏蔽板上各设置一个电路板，实现了两块电路板的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板的内部均设有冷却水路，既保证了每个电路板的冷却需要，又提高了冷却效率。且电路板设于金属水冷屏蔽板的内表面，可屏蔽电路板受到的电磁干扰信号。

技术领域

本发明涉及半导体加工设备技术领域，特别是涉及一种光刻机电路板水冷屏蔽装置。

背景技术

光刻机或称掩模对准曝光机，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜板上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。由于国际市场对于芯片的需求量大，而光刻机产能有限，所以光刻机需要长时间工作，而光刻机内部有许多电路板，电路板长时间使用容易过热，从而影响光刻机精度甚至损坏电路板。而且光刻机精度需求高，对于电磁干扰尤其敏感。

然而，现有电路板水冷装置水冷盒独立出现，不仅占用空间大，而且不具备屏蔽电磁信号干扰的能力。然而光刻机对内部环境温度的要求很高，这就需要冷却能力强，结构紧凑，且能屏蔽电磁信号干扰的电路板水冷屏蔽装置。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，占用空间小，具备屏蔽电磁信号干扰的能力，冷却效率高。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，所述水冷屏蔽板的材质为金属，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。

优选地，所述水冷屏蔽板的内表面设有凹槽，所述电路板或所述电路板的凸起部位与所述凹槽适配，并嵌设于所述凹槽内。

优选地，所述盒体还包括连接板，所述连接板连接在两个所述水冷屏蔽板之间，所述连接板上设有用于穿插电源线及外部接头的接线槽。

优选地，所述连接板包括左侧板、右侧板和顶板，所述左侧板和所述右侧板分别连接于两个所述水冷屏蔽板的两端，所述顶板连接于两个所述水冷屏蔽板的顶部。

优选地，所述冷却水路包括相对设置的两个横向水路及连接两个所述横向水路一端的竖向水路，所述竖向水路的上端延伸至所述水冷屏蔽板的上端面，所述顶板与所述竖向水路之间设有密封垫。

优选地，所述盒体的材质为铜或铜合金或不锈钢。

优选地，所述水冷屏蔽板的下端的两侧设有连接耳，所述连接耳上设有螺纹孔。

优选地，两个所述水冷屏蔽板的所述冷却水路通过连接管相连通，所述连接管包括分别连接所述冷却水路的L型水管和连接两个所述L型水管的直管。

优选地，所述进水口及所述出水口上均设有水管接头，所述水管接头上设有温度传感器，可实时测量冷却液温度。