[发明专利]一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法在审
| 申请号： | 202111076728.9 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN113653702A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 魏猛;胡延兵;张茂峰 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯达科技有限公司 |
| 主分类号： | F15B15/14 | 分类号： | F15B15/14;F15B15/20 |
| 代理公司： | 成都华复知识产权代理有限公司 51298 | 代理人： | 李俊 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法，属于气动设备技术领域，解决了相关技术中的此类往复运动机构所存在所占空间大以及成本高的技术问题。该单路双通气动往复运动机构包括座体，座体设有与第一气管连接的连接杆，连接杆中开设有气流通道，气流通道与第一气管连通；微型气缸，安装在座体上，微型气缸与气流通道连通，微型气缸的伸缩杆伸出于座体；外接活塞杆，外接活塞杆与伸缩杆连接；导向套，可拆卸固定连接在座体上，导向套套接在外接活塞杆外；能够产生正压气体和负压气体的气体发生装置，第一气管与气体发生装置连通。通过上述结构，该往复运动机构能够满足芯片制造的动力所需，并且其体积更小，成本更低，实用性更强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单路双 通气 往复 运动 机构 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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