[发明专利]一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法

说明书

本发明涉及一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法，属于气动设备技术领域，解决了相关技术中的此类往复运动机构所存在所占空间大以及成本高的技术问题。该单路双通气动往复运动机构包括座体，座体设有与第一气管连接的连接杆，连接杆中开设有气流通道，气流通道与第一气管连通；微型气缸，安装在座体上，微型气缸与气流通道连通，微型气缸的伸缩杆伸出于座体；外接活塞杆，外接活塞杆与伸缩杆连接；导向套，可拆卸固定连接在座体上，导向套套接在外接活塞杆外；能够产生正压气体和负压气体的气体发生装置，第一气管与气体发生装置连通。通过上述结构，该往复运动机构能够满足芯片制造的动力所需，并且其体积更小，成本更低，实用性更强。

技术领域

本发明属于气动设备技术领域，特别涉及一种单路双通气动往复运动机构及其使用方法。

背景技术

在半导体领域，芯片制造过程中，经常要在狭小空间内实现上下或前后往复运动。目前使用的是大行程气缸来实现，然而，芯片制造时所需的往复运动幅度较小，大行程气缸输出运动量的余量较大，并且，气缸上连接两根气管，两根气管分均与气源香连通，两根气管分别进气，从而实现气缸输出往复运动。因此，相关技术中的此类往复运动机构存在所占空间大、成本高的技术问题。

发明内容

本发明提供一种单路双通气动往复运动机构，用于解决相关技术中的此类往复运动机构所存在所占空间大以及成本高的技术问题。

本发明通过下述技术方案实现：一种单路双通气动往复运动机构，包括：

座体，所述座体设有与第一气管连接的连接杆，所述连接杆中开设有气流通道，所述气流通道与所述第一气管连通；

微型气缸，安装在所述座体上，所述微型气缸的进气口与所述气流通道连通，并且所述微型气缸的伸缩杆伸出于所述座体；

外接活塞杆，所述外接活塞杆与所述伸缩杆可拆卸固定连接；

导向套，可拆卸固定连接在所述座体上，所述导向套套接在所述外接活塞杆外；

能够产生正压气体和负压气体的气体发生装置，所述第一气管与所述气体发生装置连通。

进一步地，为了更好的实现本发明，所述气体发生装置为真空发生器。

进一步地，为了更好的实现本发明，还包括三通阀门、第二气管和第三气管，所述三通阀门包括第一连接口、第二连接口和第三连接口，所述真空发生器包括排气口和真空口，所述第一气管与所述第一连接口连通，所述第二气管连通所述排气口和所述第二连接口，所述第三气管连通所述真空口和所述第三连接口。

进一步地，为了更好地实现本发明，所述连接杆为直杆，所述伸缩杆与所述连接杆同轴，并且所述伸缩杆和所述连接杆朝向相反的方向。

进一步地，为了更好地实现本发明，所述连接活塞杆的中部开设有通孔，所述导向套的内孔孔壁上开设有导向槽，还包括销钉，所述销钉销接在所述通孔中，并且所述销钉滑动插装于所述导向槽内。

进一步地，为了更好地实现本发明，所述座体上开设有安装槽，所述微型气缸的外壳通过第一螺栓连接在所述安装槽中。

进一步地，为了更好地实现本发明，所述微型气缸的所述伸缩杆自由端设置有外螺纹，所述外接活塞杆的一端端面上开设有沉孔，所述沉孔的孔壁上设置有内螺纹，所述外螺纹和所述内螺纹螺接。

进一步地，为了更好地实现本发明，所述座体上开设有螺栓孔，所述导向套上开设有螺纹孔，还包括第二螺栓，所述第二螺栓穿过所述螺栓孔并螺接于所述螺纹孔中。

进一步地，为了更好地实现本发明，所述螺栓孔为沉头孔。

进一步地，为了更好地实现本发明，所述第一气管通过旋转气接头与所述连接杆连接在一起。