[发明专利]Micro LED器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202111068902.5 | 申请日： | 2021-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN113777880A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 吴万春 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H05K3/06;G09F9/33 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种Micro LED器件及其制备方法，制备方法包括如下步骤：提供一压印模具；涂布光阻溶液光于一基板的侧面，形成未固化的液态光阻层；将所述压印模具的第一凸部压合至所述液态光阻层上；对所述液态光阻层进行固化处理，形成固态光阻层；将所述压印模具从所述固态光阻层上移除，得到图案化的固态光阻层；其中，所述固态光阻层包括若干个阵列排布的第二凸部以及开口；形成金属层于所述第二凸部上表面及所述开口内；以及剥离所述第二凸部及设于所述第二凸部上表面的金属层，剩余的金属层为金属线路。采用压印的方式在基板的侧面形成金属线路，以免去了激光雕刻的复杂工艺，从而缩短工艺时间，以加快生产速度。 | ||
| 搜索关键词： | micro led 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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