[发明专利]平行度测量装置及平行度测量方法在审
申请号: | 202111063893.0 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113776486A | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 张强;郑红 | 申请(专利权)人: | 广州国显科技有限公司 |
主分类号: | G01B21/22 | 分类号: | G01B21/22 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 马梓洋 |
地址: | 511300 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及一种平行度测量装置及平行度测量方法,平行度测量装置包括:主壳体,包括在第一方向上相对设置的第一表面和第二表面,第一表面和第二表面相互平行;至少两个重力传感单元,安装于主壳体内,至少两个重力传感单元沿垂直于第一方向的第二方向彼此间隔排布;平行度获取模块,与每个重力传感单元通信连接,平行度获取模块被配置为用于获取重力传感单元的检测数据,并根据检测数据计算获得与第一表面和第二表面分别对应的待检测面之间的平行度。由于上述平行度测量装置可自动、反复测量第一待检测面和第二待检测面的平行度,因此具有较高的检测效率,并有效降低了检测成本。 | ||
搜索关键词: | 平行 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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