[发明专利]一种片上光源调制系统在审
申请号: | 202111056395.3 | 申请日: | 2021-09-09 |
公开(公告)号: | CN113820902A | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 闫培光;商镇远;陈浩;张子鸣;杨俊波 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | G02F1/35 | 分类号: | G02F1/35;G02F1/01 |
代理公司: | 深圳青年人专利商标代理有限公司 44350 | 代理人: | 吴桂华 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种片上光源调制系统,包括:硅基底、二氧化硅埋氧层和氮化硅层,氮化硅层包括依次设置的第一波导至第四波导,第一波导和第二波导之间设置有微环谐振腔,且微环谐振腔与第一波导之间的间距为第一设定距离,微环谐振腔与第二波导之间的间距为第二设定距离;第二波导与第三波导之间设置有微环滤波器,微环滤波器与第二波导之间的间距为第三设定距离,微环滤波器与第三波导之间的间距为第四设定距离;第三波导与第四波导之间设置有微环调制器,微环调制器与第三波导之间的间距为第五设定距离,微环调制器与第四波导之间的间距为第六设定距离。本系统利用三个氮化硅微环结构对输入的光源进行处理,可以产生自由光谱范围更宽的光频梳。 | ||
搜索关键词: | 一种 光源 调制 系统 | ||
【主权项】:
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