[发明专利]一种PtSx有效

专利信息
申请号: 202111055197.5 申请日: 2021-09-09
公开(公告)号: CN113774321B 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 张宇;韩琳;张云红;王彦皓 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/14;C23C14/30;C23C16/30;C23C28/00;G01N21/01;G01N21/31
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 杨树云
地址: 250199 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种PtSx高性能光电器件及其制备方法和应用,包括由下自上依次生长的基底、PtSx薄层、两个电极,所述基底的上表面生长有所述PtSx薄层,所述PtSx薄层的上表面设有所述两个电极,1≤x≤2,PtSx薄层通过化学气相沉积法,利用硫化氢气体、氢气和氩气的混合气体,在高温条件下硫化图形化金属铂薄层获得。光电器件通过图形化金属硫化和电极沉积工艺制备,可大面积制备PtSx薄膜和光电器件。本发明所公开的光电器件具有宽光电响应窗口,光电性能高,稳定好,检测灵敏度高,超高的外量子效率,制作简单,成本低,在光电子器件、气体传感器和电子器件领域具有极大的应用潜力。
搜索关键词: 一种 pts base sub
【主权项】:
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