[发明专利]声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置、射频前端装置在审
| 申请号： | 202111054038.3 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113839641A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 韩兴;周建 | 申请（专利权）人： | 常州承芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开提供一种声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置、射频前端装置，声表面波谐振装置包括：压电基底，包括离子注入部；电极层，位于离子注入部上方，包括：多个第一电极条及连接多个第一电极条的第一总线，多个第二电极条及连接多个第二电极条的第二总线，多个第一电极条和多个第二电极条位于第一总线和第二总线之间并交错放置；离子注入部位于多个第一电极条和多个第二电极条重合区域靠近第一总线和第二总线的两侧下方，还位于多个第一电极条中的一个第一电极条与相邻的多个第二电极条中的一个第二电极条之间。离子注入部减慢声波在压电基底离子注入部表面的传播速度，使谐振装置进入piston模态，可以抑制高阶模态下的横向寄生谐振。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 谐振 装置 形成 方法 滤波 射频 前端 | ||
【主权项】：
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