[发明专利]卡盘清洁装置、卡盘承载面检测方法及键合设备有效
| 申请号： | 202111052071.2 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113752146B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 王念;吴星鑫 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B24B41/06;B24B49/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 田婷 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种卡盘清洁装置、卡盘承载面检测方法及键合设备，所述卡盘清洁装置包括：机械臂；研磨盘，设置于所述机械臂，所述研磨盘用于研磨一卡盘的承载面；吸附部件，设置于所述机械臂，所述吸附部件用于吸附所述卡盘上的颗粒；驱动部件，用于驱动所述机械臂运动，以将所述研磨盘和所述吸附部件移动至所述卡盘的待清洁位置。本发明的技术方案能够改善晶圆键合结构中产生的缺陷，同时降低了保养负荷和风险。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 清洁 装置 承载 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新芯集成电路制造有限公司，未经武汉新芯集成电路制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111052071.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
