[发明专利]清除COF载带表面金属异物的方法有效
| 申请号： | 202111044595.7 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN113477627B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡水河;黄煜程 | 申请（专利权）人： | 常州欣盛半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 朱丽莎 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清除COF载带表面金属异物的方法，采用清洁装置，清洁装置包括支架组件及磁铁，支架组件架设在轨道上，磁铁安装在支架组件上，轨道上设有COF载带，磁铁的长度方向与COF载带的传送方向垂直。清除COF载带表面金属异物的方法包括以下步骤：S1：将支架组件安装在轨道上，再将磁铁安装在支架组件上，此时，磁铁位于COF载带的上方；S2：当COF载带在轨道上传送时，磁铁能够吸附COF载带表面的金属异物，使得COF载带的表面保持清洁。本发明将支架组件架设在轨道的两端，磁铁安装在支架组件上，在COF载带的传送过程中，磁铁能够吸附COF载带表面的金属异物，使得COF载带表面保持清洁，减少异常的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 清除 cof 表面 金属 异物 方法 | ||
【主权项】：
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