[发明专利]电感线圈模块、电感耦合等离子体生成系统和装置在审
| 申请号： | 202111043305.7 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN113921364A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 严世勋;李润星 | 申请（专利权）人： | 源多可科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈睆;曹正建 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及电感线圈模块、电感耦合等离子体生成系统和装置。本发明提供的生成电感耦合等离子体的电感线圈模块中，所述电感线圈模块包括至少一个天线单元，其中，所述天线单元还包括：第一弧，位于第一平面，并且具有第一半径；第二弧，位于所述第一平面，并且具有大于所述第一半径的第二半径；第一延伸部，从所述第一弧的一端延伸；第二延伸部，从所述第一弧的另一端延伸；第三延伸部，从所述第二弧的一端延伸；第四延伸部，从所述第二弧的另一端延伸；以及第一连接部，连接所述第二延伸部和所述第三延伸部，其中，当沿着与所述第一平面垂直的方向观察时，所述第一连接部与所述第一延伸部重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 电感线圈 模块 电感 耦合 等离子体 生成 系统 装置 | ||
【主权项】：
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