[发明专利]一种光学元件离子束抛光加工装置在审
| 申请号： | 202111041822.0 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN113695991A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 黄智;张伟文;杨兴;贾卫博;闵杰;陈贵科 | 申请（专利权）人： | 成都极致智造科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/00;B24B13/005;B24B47/20 |
| 代理公司： | 成都春夏知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51317 | 代理人： | 夏琴 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学元件离子束抛光加工装置，解决现有采用三轴运动或五轴运动平台抛光装置操作复杂、灵巧度差、制造昂贵的技术问题。本发明包括支撑底座，设于支撑底座上的真空室，设于真空室内的主机平台，设于主机平台上的支撑板，设于支撑板上用于夹取待抛光光学工件的光学工件夹具，以及设于主机平台上用于提供可移动离子束的运动机构；运动机构包括设于主机平台上的水平运动机构、设于水平运动机构上的竖直移动机构、以及设于竖直移动机构上安装有离子源的三轴并联机构。本发明结构简单、设计科学合理，使用方便，安装调试方便，由水平竖直串联运动结合三轴并联运动的混联移动，可灵活变化抛光角度，方便实现离子束在任意空间的可达性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 离子束 抛光 加工 装置 | ||
【主权项】：
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